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一种提高氮化镓基发光二极管抗静电能力的方法技术
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文档序号:6617320
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本发明公开了一种提高氮化镓基发光二极管抗静电能力的方法,包括:选择一衬底;在该衬底上生长一氮化镓成核层;在该氮化镓成核层上生长非故意掺杂氮化镓层;在该非故意掺杂氮化镓层上生长一氮化铝镓/氮化镓超晶格插入层;在该氮化铝镓/氮化镓超晶格插入层上...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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