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一种具有长焦深（Ｄｅｐｔｈ ｏｆ Ｆｏｃｕｓ）的激光装置，其包括：一个激光源及一个光学模组。该激光源用于发射单波长紫外光。该光学模组包括一个与设置在该单波长紫外光光路上的第一光学元件，该第一光学元件具有一个邻近该激光源的第一表面及一个与该第...该专利属于富士迈半导体精密工业（上海）有限公司;沛鑫能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过富士迈半导体精密工业（上海）有限公司;沛鑫能源科技股份有限公司授权不得商用。