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本发明提供一种装置,包括半导体元件,且半导体元件包括:半导体基板,有沟道区;高介电常数的介电层,位于至少部分沟道区上;栅极,位于至少分沟道区上与介电层上,其中栅极实质上为金属;以及栅极接点,接合栅极位于沟道区上。本发明也提供一种形成半导体元...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种装置,包括半导体元件,且半导体元件包括:半导体基板,有沟道区;高介电常数的介电层,位于至少部分沟道区上;栅极,位于至少分沟道区上与介电层上,其中栅极实质上为金属;以及栅极接点,接合栅极位于沟道区上。本发明也提供一种形成半导体元...