下载基于弧形梳齿的大位移静电驱动微夹持器的技术资料

文档序号:6525314

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本发明公开了一种基于弧形梳齿的大位移静电驱动微夹持器,用于微操作系统、微小机器人、微装配、微焊接以及微小物体的搬迁操作,属于微机电系统领域。本发明在微夹持器的弧形活动梳齿、固定梳齿分别施加不同的驱动电压,活动梳齿在静电力驱动下带动微夹持臂摆...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。

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