【技术实现步骤摘要】
基于弧形梳齿的大位移静电驱动微夹持器所属领域本专利技术涉及一种基于弧形梳齿的大位移静电驱动微夹持器，用于微操作系统、微小机器人、微装配、微焊接以及微小物体的搬迁操作，属于微机电系统领域。
技术介绍
微机电系统(MEMS)是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微夹持器是微机电系统的关键组成部分，是连接宏观与微观世界的基本工具。在精密仪器、生物医学、航空航天及军事领域都有着广泛的应用前景。微夹持器按照驱动方式划分可分为压电驱动、 热驱动、静电驱动等类型。静电驱动微夹持器具有制作工艺与IC工艺兼容、易实现小型化和和集成化、响应速度快、控制方便、结构简单等优点，因此在微机电系统领域得到广泛应用。参见图2，在公开号为CN1410346A的专利文献“一种静电致动微夹持器”中，提出了一种采用直线形静电梳齿驱动的微夹持器，在微夹持器直线形的活动梳齿、固定梳齿分别施加不同的驱动电压， 活动梳齿在静电力驱动下带动微夹持臂摆动实现微夹持器的开合动作。这种采用直线形静电梳齿驱动的微夹持器因要获得足够的静电驱动力...
【技术保护点】
１．一种基于弧形梳齿的大位移静电驱动微夹持器，其特征在于：包括左夹持臂部件（１）和右夹持臂部件（２１）；左夹持臂部件（１）包括张开驱动弧形固定梳齿组件Ｉ（２）、闭合驱动弧形固定梳齿组件Ｉ（３）和活动夹持臂组件；所述驱动弧形固定梳齿组件Ｉ（２）包括一组固定在梁Ｉ（５）上的弧形固定梳齿Ｉ（６），梁Ｉ（５）两端固定在锚点Ｉ（４）上；所述闭合驱动弧形固定梳齿组件Ｉ（３）包括一组固定在梁ＩＩ（１４）上的弧形固定梳齿ＩＩ（１２），梁ＩＩ（１４）两端固定在锚点ＩＩ（１３）上；两组弧形活动梳齿Ｉ（７）分别与弧形固定梳齿Ｉ（６）和弧形固定梳齿ＩＩ（１２）构成两组弧形梳齿驱动器；所述的两组弧形...
【技术特征摘要】
1.一种基于弧形梳齿的大位移静电驱动微夹持器，其特征在于包括左夹持臂部件 (1)和右夹持臂部件；左夹持臂部件(1)包括张开驱动弧形固定梳齿组件I O)、闭合驱动弧形固定梳齿组件I C3)和活动夹持臂组件；所述驱动弧形固定梳齿组件1( 包括一组固定在梁I ( 上的弧形固定梳齿I (6)，梁I ( 两端固定在锚点I (4)上；所述闭合驱动弧形固定梳齿组件I C3)包括一组固定在梁II (14)上的弧形固定梳齿II (12)，梁II (14)两端固定在锚点II (13)上；两组弧形活动梳齿I (7)分别与弧形固定梳齿I (6)和弧形固定梳齿11(12)构成两组弧形梳齿驱动器；所述的两组弧形活动梳齿1(7)位于夹持臂1(9)上， 夹持臂1(9) 一端固定在锚点111(8)上，另一端连接夹持臂端1(10)；右夹持臂部件和左夹持臂部件(1)为对称结构，右夹持臂部件包括张开驱动弧形固定梳齿组件II (22)、闭合驱动弧...
【专利技术属性】
技术研发人员：苑伟政，张峰，常洪龙，谢建兵，何洋，丁继亮，
申请(专利权)人：西北工业大学，
类型：发明
国别省市：87
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