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偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法与装置制造方法及图纸
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文档序号:6479510
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一种偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法与装置,属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域,本发明为克服已有方法与装置中的不足,实现高精度光电自准直角度测量。本发明的基于探测器组合靶标的共光路漂移量监测分离装置利用激光的线偏振特性,并将...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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