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本发明提供一种基板液处理装置和处理液生成方法。该基板液处理装置无论同时使用的处理液的流量如何都能够生成规定浓度的处理液。该基板液处理装置包括：多个基板处理部，其用处理液处理基板；处理液生成部，其通过使气体溶解于溶剂而生成规定浓度的处理液，将...
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