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本发明提供一种通过控制向汽化室吐出的液态原料的液滴的尺寸 并抑制液滴尺寸的参差不齐，使液滴确实地得到汽化的汽化器和设有 该汽化器的成膜装置。汽化器包括：以规定压力供给液态原料的原料 液室(410)；用于吐出原料液室内的液态原料的多个吐出喷嘴...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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