汽化器和成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种通过控制向汽化室吐出的液态原料的液滴的尺寸 并抑制液滴尺寸的参差不齐，使液滴确实地得到汽化的汽化器和设有 该汽化器的成膜装置。汽化器包括：以规定压力供给液态原料的原料 液室(410)；用于吐出原料液室内的液态原料的多个吐出喷嘴(420)； 使从多个吐出喷嘴吐出的液态原料汽化而生成原料气体的汽化室 (430)；和使原料液室的内部空间的容积周期性地发生变化，向液态 原料施加吐出压力的压电元件(440)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及将液态原料汽化并生成原料气体的汽化器以及具有该汽化器的成膜装置。
技术介绍
一般，作为由电介质、金属、半导体等构成的各种薄膜的成膜方法，广为所知的有将有机金属化合物等有机原料气体供给成膜室，使其与氧气或氨气等其它气体发生反应并成膜的化学气相沉积法(CVD:Chemical Vapor Deposition)。这种CVD法中使用的有机原料由于在常温下多为液态或固态，因此需要使用将有机原料汽化的汽化器。例如，上述有机原料通常使用溶剂将其稀释或溶解，使其成为液态原料。这种液态原料从设置在汽化器上的喷雾喷嘴随着例如运载气体的流动向已加热的汽化室内喷雾而汽化，由此成为原料气体。该原料气体被供给成膜室，在此通过与其它气体发生反应，由此在基板上成膜(参照曰本专利文献l-3)。根据这种现有技术的汽化器，被喷雾喷嘴喷雾的液态原料中的大部分在汽化室内汽化。但是，有一部分则因不能完全汽化而继续浮游在汽化室内，其间会随着溶剂的单独挥发而成为微小的颗粒。这种颗粒会堆积在喷雾喷嘴、汽化室的内面、过滤器、气体输送管的内部等处，这不仅会造成各处堵塞，而且还会与原料气体一起到达成膜室成为异常成膜或膜质本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种汽化器，其特征在于，包括：　以规定压力供给液态原料的原料液室；　用于吐出所述原料液室内的液态原料的多个吐出口；　使从所述多个吐出口吐出的所述液态原料汽化而生成原料气体的汽化室；和　使所述原料液室的内部空间的容积周期性地发生变化，向所述液态原料施加吐出压力的加压单元。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：望月隆，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP