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本发明提供能高精密地成膜或者生产率或运转率高的有机ＥＬ器件制造装置或有机ＥＬ器件制造方法或者成膜装置或成膜方法。本发明的特征在于，从设置于真空蒸镀腔的壁上的真空隔离机构搬出上述掩模，在共有上述真空隔离机构的掩模洗净腔内对附着于上述基板上的上...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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