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本发明提供一种高效率地去除堆积在ＥＳＣ的外周部的以ＣＦ为主要成分且含有Ｓｉ和Ａｌ的肩部堆积物的腔室内清洁方法。朝向ＥＳＣ（２４）的外周部（２４ａ）以压力４００～８００ｍＴｏｒｒ供给由Ｏ２气体和含Ｆ气体构成的混合气体，有选择性地对ＥＳＣ（２４...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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