下载PBOPC优化掩膜图形的分割矩形总数的获取方法的技术资料

文档序号:6095342

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本发明涉及一种PBOPC优化掩膜图形的分割矩形总数的获取方法,具体步骤为:步骤一、设计拓扑滤波器g;步骤二、计算拓扑滤波器g与当前掩膜图形中各像素点M(x,y)的卷积;步骤三、根据GM(x,y)计算当前掩膜图形中凸顶点和凹顶点的个数;步骤四...
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