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正交相二氧化锡薄膜的制备方法技术
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文档序号:6076135
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本发明涉及到一种正交相二氧化锡薄膜的制备方法,其操作步骤为:(i)制备用于脉冲激光沉积的二氧化锡靶材:①制备高纯的二氧化锡粉;②将其粉末在0.4GPa压力下制作成直径15毫米,厚度4毫米圆块,将其圆块在1150℃下烧结2小时,即成为脉冲激光...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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