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本发明提供一种存储器元件的堆叠电容器及其制造方法，其中制造方法包括提供一基底；形成一包括多个第一开口的图形化牺牲层于基底上方；顺应性形成一第一导电层于图形化牺牲层上且填入上述第一开口中；形成一第二导电层于第一导电层上，密封上述第一开口，且于...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。

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