下载加热装置、和涂敷、显影装置以及加热方法的技术资料

文档序号:6045300

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加热装置、和涂敷、显影装置以及加热方法,本发明提供一种不升降顶板也能进行面内均匀性好的加热处理的加热装置和加热方法。加热装置包括:用于放置基板并进行加热的加热板;在该加热板的上方与基板隔开间隔相对设置的、比基板的被加热处理区域大的整流用顶板...
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