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本发明公开了一种晶片支撑装置,该装置呈圆环柱体结构,从而不会挡住超薄晶片正面的半导体器件区域,因此可在封装前及时进行性能测试,及时反馈和评估工艺中的问题,降低了工艺风险;同时,本发明还公开了一种晶片处理工艺,该处理工艺在晶片背面处理工艺过程...该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。
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