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本发明是关于激光退火设备中光学处理装置的研制，该装置也可应用于其他相关领域。其特征在于，有两个可替换组件和一个可变光阑相结合，每个组件都有多套系统可供选用，且第一可替换组件和可变光阑可通过计算机统一控制。通过替换两个组件和对第一可替换组件中...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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