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本发明是关于一种改进的光束匀化装置的研制，该装置可应用于激光退火或其他对光束有匀化要求的领域。其特征在于，通过引入预匀化环节、随机相位板以及透镜阵列和积分棒的有机结合，对光束进行多级匀化并消除相干性的影响，可以大大提高光束的匀化效果，同时又...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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