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发光二极管的形成方法技术
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文档序号:5979054
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一种发光二极管的形成方法,包含提供成长基板,依序形成牺牲层及外延层于成长基板上;形成一或数个外延层开口穿透外延层而露出牺牲层;形成支撑层于外延层上,支撑层具有一或数个支撑层开口穿透支撑层而连通多个外延层开口;及选择性蚀刻牺牲层而使成长基板脱...
该专利属于晶元光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晶元光电股份有限公司授权不得商用。
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