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晶体管及其制造方法技术
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文档序号:5919645
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本发明为一种晶体管,其包括具有沟道区的基底;位于该基底沟道区两端的源区和漏区;界于所述源区和漏区之间的该沟道区上方基底顶层的栅极高K介质层;位于该栅极高K介质层下面的界面层,该界面层第一部分靠近源极,第二部分靠近漏极,且第一部分的等效氧化层...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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