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一体式精密定位平台制造技术
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文档序号:5778973
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本实用新型公开了一种一体式精密定位平台,包括运动平台、基座,运动平台与基座之间通过四个三自由度的柔性铰链连接,四个三自由度的柔性铰链对称分布在运动平台的四角;运动平台与基座之间的三个凹槽中嵌放有三个压电致动器,压电致动器的一端固定在基座的凹...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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