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描述了一种用于半导体制造中的服务过程的活动管理系统及其使用方法。该活动管理系统包括数据采集系统，其被配置为接收与至少一个服务部件和服务操作者相关联的服务活动数据，并将服务活动数据与至少一个服务账目相关。另外，该活动管理系统包括耦合到数据采集...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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