用于半导体制造设备的服务活动管理系统和方法技术方案

描述了一种用于半导体制造中的服务过程的活动管理系统及其使用方法。该活动管理系统包括数据采集系统，其被配置为接收与至少一个服务部件和服务操作者相关联的服务活动数据，并将服务活动数据与至少一个服务账目相关。另外，该活动管理系统包括耦合到数据采集系统并被配置为存储服务活动数据的数据存储系统。此外，活动管理系统包括耦合到数据采集系统和数据存储系统的服务动作系统，其被配置为执行至少一种服务功能，这些服务功能包括服务部件修理、服务部件启动、服务部件预防性维护、服务部件清洗、服务部件修正（例如，现场变化通知）、服务部件增强（例如，连续改进通知）、服务部件卸载、客户动作计划、项目动作计划和服务教学。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及活动管理系统及其使用方法，更具体而言，涉及被配置为管理与半导体制造系统有关的服务活动的活动管理系统。
技术介绍
维护半导体制造工厂是耗时且昂贵的过程，其涉及设备制造商和制造工厂之间的协作。半导体设备制造商和半导体制造工厂之间的低效互动可能导致工厂的停机，这增加了总的操作成本，以及检修时间和硬件更换的过度消耗。在电子产业中，设备制造商采用多个分离的、独立的服务模型，这些服务模型被配置为从事范围从制造系统维护到制造系统故障排查、硬件更换和核准、以及零件更换和核准等的活动。更具体而言，涉及诸如特定部件的修理和更换之类的服务的服务模型并不与涉及诸如排定和评估之类的一般管理任务的服务模型相集成。因此，这些服务模型表现为彼此之间缺乏数据沟通，明显的重叠导致冗余，以及建立被设计用来促进设备服务的结构内的虚拟界限。本专利技术人认识到使用独立的服务模型导致服务成本增加和操作效率降低。
技术实现思路
因此，本专利技术的一个方面是减轻或消除上述问题中的任何一个或全部。本专利技术的另一目的是减少在维护半导体制造工厂时的服务成本并使操作效率最大。本专利技术的另一目的是提供一种用于整合半导体制造工厂的管理活动的系统。本专利技术的这些和其他的目的由一种用于管理与半导体制造有关的服务的活动管理系统提供。该系统包括被配置为接收与服务部件、服务操作者和服务账目中的至少一个有关的服务活动数据的数据采集系统。数据存储系统耦合到数据采集系统，并被配置为存储服务活动数据，并且服务动作系统耦合到数据采集系统和数据存储系统。服务动作系统被配置为利用服务活动数据提供服务动作数据，以便执行多种服务功能中的至少两种，这多种服务功能包括提供服务部件修理、提供服务部件启动、提供服务部件预防性维护、提供服务部件清洗、提供服务部件修正、提供服务部件增强、提供服务部件卸载、提供服务教学以及提供服务协作。根据本专利技术的另一方面，提供了一种使用活动管理系统来辅助执行与半导体制造有关的服务动作的方法。该方法包括提供被配置为与服务操作者互动并且采集来自服务操作者的服务活动数据的数据采集系统，其中服务活动数据与服务操作者、服务部件和服务账目中的至少一个相关联。提供耦合到数据采集系统并且被配置为存储服务活动数据的数据存储系统；提供耦合到数据采集系统和数据存储系统的服务动作系统，其被配置为与服务操作者互动并利用存储在数据存储系统中的服务活动数据向服务操作者提供服务动作数据。服务动作数据被用于执行服务功能，该服务功能包括提供服务部件修理、提供服务部件启动、提供服务部件预防性维护、提供服务部件清洗、提供服务部件修正、提供服务部件增强、提供服务部件卸载、提供服务教学以及提供服务协作中的至少一种。本专利技术的另一方面是一种用于管理与半导体制造有关的服务活动的活动管理系统。该系统包括被配置为采集与半导体制造服务有关的服务活动数据的数据采集系统；耦合到数据采集系统并被配置为存储服务活动数据的数据存储系统；以及耦合到数据采集系统和数据存储系统的服务动作系统。服务动作系统被配置为执行服务部件服务功能和非服务部件服务功能以便辅助服务操作者执行服务动作。本专利技术的另一方面是一种使用计算机系统来管理与半导体制造有关的服务活动的方法。该方法包括使用计算机系统来采集与半导体制造服务有关的服务活动数据；使用计算机系统来存储服务活动数据；以及使用计算机系统来执行服务部件服务功能和非服务部件服务功能。基于服务部件或非服务部件服务功能的结果执行服务动作。在本专利技术的另一方面中，提供了一种包含用于在处理器上执行的程序指令的计算机可读介质，该程序指令当被处理器执行时，使得计算机系统执行本专利技术的方法中的步骤。本专利技术的另一方面包括一种用于管理与半导体制造有关的服务活动的活动管理系统。该系统包括用于采集与半导体制造服务有关的服务活动数据的装置；耦合到用于采集的装置的用于存储服务活动数据的装置；以及耦合到用于采集的装置和用于存储的装置的用于执行服务部件服务功能和非服务部件服务功能以便辅助服务操作者执行服务动作的装置。附图说明在附图中图1表示根据本专利技术实施例的活动管理系统的示意图；图2A图示了用于使服务操作者获得对图1的活动管理系统的访问的第一示例性操作者界面；图2B图示了用于使服务操作者获得对图1的活动管理系统的访问的第二示例性操作者界面；图2C图示了用于访问图1的活动管理系统的操作者界面的示例性示意图；图3A图示了用于访问服务功能的示例性操作者界面；图3B图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3C图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3D图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3E图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面； 图3F图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3G图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3H图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3I图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3J图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图3K图示了用于执行图3A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图4A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图4B图示了用于执行图4A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图4C图示了用于执行图4A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图5A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图5B图示了用于执行图5A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图5C图示了用于执行图5A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图6图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图7A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图7B图示了用于执行图7A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图8A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图8B图示了用于执行图8A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面； 图8C图示了用于执行图8A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图8D图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图8E图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图8F图示了用于执行图8E中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图9图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图10A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图10B图示了用于执行图10A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图10C图示了用于执行图10A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图11A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图11B图示了用于执行图11A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图12A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图12B图示了用于执行图12A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图13A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图13B图示了用于执行图13A中所示的服务功能的另一示例性操作者界面；图14A图示了用于访问另一服务功能的另一示例性操作者界面；图14B图示了用于执行图14A中所示的服务本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于管理与半导体制造有关的服务活动的活动管理系统，包括：　　　　被配置为接收与服务部件、服务操作者和服务账目中的至少一个有关的服务活动数据的数据采集系统；　　　　耦合到所述数据采集系统并被配置为存储所述服务活动数据的数据存储系统；以及　　　　耦合到所述数据采集系统和所述数据存储系统的服务动作系统，所述服务动作系统被配置为通过执行多种服务功能中的至少两种而利用所述服务活动数据提供服务动作数据，所述多种服务功能包括提供服务部件修理、提供服务部件启动、提供服务部件预防性维护、提供服务部件清洗、提供服务部件修正、提供服务部件增强、提供服务部件卸载、提供服务教学以及提供服务协作。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：埃里克考夫曼，保罗布朗，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]