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揭露了一种用于处理衬底的装置。该装置包括具有接近头表面的接近头，其能够紧挨着衬底的表面接合。该接近头具有多个能够分配第一处理混合物和第二处理混合物到该衬底的表面的分配端口。该接近头也具有多个能够从该衬底的该表面移除该第一和第二处理混合物的移...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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