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测定误差的修正方法及电子元器件特性测定装置制造方法及图纸
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文档序号:5483030
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本发明提供一种测定误差的修正方法及电子元器件特性测定装置,可消除因测定夹具的端口间的泄漏信号分量造成的修正误差,以提高修正精度。对于具有互异电学特性的修正数据获取试样,根据安装于基准测定夹具(20)的状态与安装于测试测定夹具(30)的状态下...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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