测定误差的修正方法及电子元器件特性测定装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种测定误差的修正方法及电子元器件特性测定装置，可消除因测定夹具的端口间的泄漏信号分量造成的修正误差，以提高修正精度。对于具有互异电学特性的修正数据获取试样，根据安装于基准测定夹具（２０）的状态与安装于测试测定夹具（３０）的状态下测定电学特性ＳＤ、ＳＴ的结果，来决定使在测试测定夹具安装状态下的测定值与在基准测定夹具安装状态下的测定值相关联的数学式ＣＡｉｊ。数学式ＣＡｉｊ是假设基准测定夹具与测试测定夹具中至少一者的至少２个端口间存在有直接传递的泄漏信号的数学式。对于任意电子元器件，在安装于测试测定夹具（３０）的状态下测定电学特性，并使用已决定的数学式ＣＡｉｊ，来算出所述电子元器件在安装于基准测定夹具（２０）的状态下测定时应可得到的电学特性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种测定误差的修正方法，对于具有２端口以上的任意ｎ端口的电子元器件，根据在安装于测试测定夹具的状态下测定电学特性的结果，算出该电子元器件在安装于基准测定夹具的状态下测定时应可得到的电学特性的推测值，其特征在于，具有：第１步骤，对于具有互异电学特性的至少３个第１修正数据获取试样，在安装于所述基准测定夹具的状态下测定电学特性；第２步骤，对于所述至少３个第１修正数据获取试样、可视为具有与所述至少３个第１修正数据获取试样同等的电学特性的至少３个第２修正数据获取试样、或可视为具有与所述至少３个第１修正数据获取试样中的一部分同等的电学特性的至少１个第３修正数据获取试样及其它所述第１修正数据获取试样，在安装...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：森太一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]