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提供一种用于校准末端执行器相对于等离子体处理系统中的卡盘的对准的方法。该方法包括将该末端执行器定位在该卡盘上方并拍摄该卡盘和该末端执行器的静止图像。该方法包括处理该静止图像以确定该卡盘的中心和由该末端执行器限定的末端执行器限定中心。该方法包...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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