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本发明提供适用于在约１１０ｇ／ｃｍ↑［２］或更小的下压力下抛光玻璃基板的玻璃抛光组合物及方法。一种优选的抛光组合物包含悬浮于含有聚合物稳定剂及任选的水溶性无机盐的含水载体中的颗粒状二氧化铈研磨剂，其中，所述聚合物稳定剂的量例如为约５０至约１...
该专利属于卡伯特微电子公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡伯特微电子公司授权不得商用。

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