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本发明涉及用于清洁薄片和／或容易断裂的晶圆（６）的装置，其中所述晶圆（６）的一个侧面固定在托架装置（２）上，并且在两个相邻晶圆之间形成空隙（７）。所述装置主要包括：喷淋装置（１５），所述喷淋装置将流体引入各个空隙（７），并且具有至少一个喷淋...
该专利属于里纳特种机械有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过里纳特种机械有限责任公司授权不得商用。

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