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用于处理衬底（４０）的等离子体反应器（１），其包括被布置在所述反应器（１）内的至少两个电极（２０，３０），在所述两个电极（２０，３０）之间定义内部工艺空间（１３），同时所述两个电极（２０，３０）彼此相对地并且相对于所述电极（２０，３０）的第...该专利属于欧瑞康太阳ＩＰ股份公司（特吕巴赫）所有，仅供学习研究参考，未经过欧瑞康太阳ＩＰ股份公司（特吕巴赫）授权不得商用。
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用于处理衬底（４０）的等离子体反应器（１），其包括被布置在所述反应器（１）内的至少两个电极（２０，３０），在所述两个电极（２０，３０）之间定义内部工艺空间（１３），同时所述两个电极（２０，３０）彼此相对地并且相对于所述电极（２０，３０）的第...