下载激光加工装置的技术资料

文档序号:5451882

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本发明涉及一种激光加工装置,其能够缩短在加工对象物的内部形成改质区域所需的时间。该激光加工装置(100)具备:装载台(107);射出直线偏光的激光(L)的光源(101);射出激光(L3)的光源(41);变更激光(L)的偏光方向的波长板(51...
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