下载探针装置的技术资料

文档序号:5448934

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在具有电路基板以及支撑触头的支撑板的探针卡的上表面一侧设置有加强部件。在加强部件的外周部形成有多个长孔的导向孔。在导向孔内设置有被固定在保持部件上的固定部件以及被设置在固定部件的外周的套管。导向孔的长度方向上的长度比套管的直径长,导向孔形成...
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