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公开的是一种用于湿法处理晶片状物品的外围区域Ｗ的装置（１）。该装置包括：夹持装置（２０、５０），用以在该晶片状物品的边缘夹持和转动该晶片状物品；第一液体处理单元（３０），用以向该外围区域提供液体；和第二液体处理单元（６０），用以向该外围区域...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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