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涂敷方法及涂敷装置制造方法及图纸
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文档序号:5415087
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在上浮输送方式中有效地降低或抑制在形成于被处理基板上的处理液的涂敷膜上产生条纹状的涂敷不均。在涂敷区域中,沿X方向延伸的多条喷出线(C↓[1]、C↓[3]、C↓[5]、…)和沿X方向延伸的多条吸引线(C↓[2]、C↓[4]、C↓[6]、…)...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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