下载涂敷方法及涂敷装置的技术资料

文档序号:5415087

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在上浮输送方式中有效地降低或抑制在形成于被处理基板上的处理液的涂敷膜上产生条纹状的涂敷不均。在涂敷区域中,沿X方向延伸的多条喷出线(C↓[1]、C↓[3]、C↓[5]、…)和沿X方向延伸的多条吸引线(C↓[2]、C↓[4]、C↓[6]、…)...
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