涂敷方法及涂敷装置制造方法及图纸

在上浮输送方式中有效地降低或抑制在形成于被处理基板上的处理液的涂敷膜上产生条纹状的涂敷不均。在涂敷区域中，沿Ｘ方向延伸的多条喷出线（Ｃ↓［１］、Ｃ↓［３］、Ｃ↓［５］、…）和沿Ｘ方向延伸的多条吸引线（Ｃ↓［２］、Ｃ↓［４］、Ｃ↓［６］、…）在Ｙ方向上以一定的间距（Ｗ）交替地排列，在各喷出线（Ｃ↓［２ｎ－１］）上隔开一定间隔（３Ｄ）地配置喷出口（８８），并且，在各吸引线（Ｃ↓［２ｎ］）上隔开一定间隔（３Ｄ）地配置吸引口（９０），在相邻的喷出线（Ｃ↓［２ｎ－１］）和吸引线（Ｃ↓［２ｎ］）之间，喷出口（８８）和吸引口（９０）在Ｘ方向上偏移一定距离（Ｄ）。进而，长槽（８８ａ、９０ａ）从喷出口（８８）、吸引口（９０）的上端部向顺着输送方向（Ｘ方向）的方向和与其相反的方向笔直地延伸成两路。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及以上浮输送方式在被处理基板上形成处理液的涂敷膜的涂敷方法及涂敷装置。
技术介绍
在LCD等平板显示器(FPD)的制造工艺中的光刻工序中，经常采用无旋转涂敷法，即，使具有狭缝状排出口的长条形的抗蚀剂喷嘴扫描而在被处理基板(玻璃基板等)上涂敷抗蚀剂液。作为这种无旋转涂敷法的一个形式，例如如专利文献1所公开的那样，公知有下述的上浮输送方式，即，将用于支承基板的工作台构成为上浮式，在使基板在工作台上浮于空中的状态下沿水平的一个方向(工作台长度方向)输送基板，在输送途中的预定位置从设于工作台上方的长条形抗蚀剂喷嘴朝向从正下方的基板排出带状的抗蚀剂液，由此，将抗蚀剂液从基板上的一端涂敷到另一端。对于这种上浮输送方式，为了使基板上浮，不仅在工作台上表面的整个区域中，以预定的密度设置多个喷出高压或者正压气体例如空气的喷出口，而且在基板输送方向上，在抗蚀剂喷嘴的正下方和遍及其前后的一定范围的工作台上表面的涂敷区域中，以预定的密度设置多个混合存在于喷出口中并以负压吸入空气的吸引口，控制对通过涂敷区域的基板从喷出口施加的垂直向上的压力与从吸引口施加的垂直向下的压力的平衡，从而对基板施加精确本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂敷装置，具有：　工作台，具有第一上浮区域，该第一上浮区域中混合设置有喷出气体的多个喷出口和吸入气体的多个吸引口；　基板输送部，在使被处理基板在所述工作台上浮起的状态下，该基板输送部使所述被处理基板沿预定的输送方向通过所述第 一上浮区域；　处理液供给部，具有配置在所述第一上浮区域的上方的喷嘴，从所述喷嘴排出所述处理液以在所述基板上形成处理液的涂敷膜；以及　长槽，以从所述喷出口或所述吸引口的上端部沿相对于所述输送方向平行或倾斜锐角角度的第一方向延伸的方 式，形成于所述第一上浮区域内的所述工作台的上表面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2006-7-27 205053/20061、一种涂敷装置，具有：工作台，具有第一上浮区域，该第一上浮区域中混合设置有喷出气体的多个喷出口和吸入气体的多个吸引口；基板输送部，在使被处理基板在所述工作台上浮起的状态下，该基板输送部使所述被处理基板沿预定的输送方向通过所述第一上浮区域；处理液供给部，具有配置在所述第一上浮区域的上方的喷嘴，从所述喷嘴排出所述处理液以在所述基板上形成处理液的涂敷膜；以及长槽，以从所述喷出口或所述吸引口的上端部沿相对于所述输送方向平行或倾斜锐角角度的第一方向延伸的方式，形成于所述第一上浮区域内的所述工作台的上表面。2、根据权利要求1所述的涂敷装置，其中，所述长槽在所述第一方向上从所述喷出口或所述吸引口的上端部向顺着所述输送方向的方向延伸，并且向与所述输送方向相反的方向延伸。3、根据权利要求1所述的涂敷装置，其中，在所述输送方向上，在比所述喷嘴的排出口更靠上游侧的位置，所述长槽从所述喷出口或所述吸引口的上端部向与所述输送方向相反的方向延伸，在比所述喷嘴的排出口更靠下游侧的位置，所述长槽从所述喷出口或所述吸引口的上端部向顺着所述输送方向的方向延伸。4、根据权利要求1所述的涂敷装置，其中，所述第一上浮区域内的所有所述喷出口和所述吸引口都带有所述长槽。5、根据权利要求1所述的涂敷装置，其中，所述长槽延伸至在所述第一方向上越过与该喷出口或吸引口接近的至少一个其他喷出口或吸引口的位置。6、根据权利要求1所述的涂敷装置，其中，所述长槽从所述喷出口或所述吸引口的上端部朝向槽末端逐渐地变浅。7、根据权利要求1所述的涂敷装置，其中，沿与所述第一方向正交的第二方向隔开第一间隔地排列有多条喷出线，所述喷出线在所述第一方向的一条直线上隔开第一间隔地仅配置有多个所述喷出口，沿所述第二方向隔开第二间隔地排列有多条吸引线，所述吸引线在所述第一方向的一条直线上隔开第二间隔地仅配置有多个所述吸引口，并且所述吸引线在所述第二方向上从所述喷出线偏移。8、根据权利要求1所述的涂敷装置，其中，沿与所述第一方向正交的第二方向隔开第二间隔地排列有多条喷出·吸引混合线，所述喷出·吸引混合线在所述第一方向的一条直线上隔开第一间隔地交替配置有多个所述喷出口和所述吸引口。9、根据权利要求1所述的涂敷装置，其中，在所述工作台上位于沿与所述第一方向正交的第二方向延伸的任意直线上的所述喷出口和所述吸引口的个数，比从所述第一方向观察时在与第一方向正交的第二方向上排成一列的所述喷出口和所述吸引口的个数少。10、根据权利要求9所述的涂敷装置，其中，在所述工作台上位于沿所述第二方向延伸的任意直线上的所述喷出口和所述吸引口的个数，是从所述第一方向观察时在所述第二方向上排成一列的所述喷出口和所述吸引口的个数的1/2以下。11、根据权利要求1所述的涂敷装置，其中，具有上浮压力控制部，该上浮压力控制部对供给到所述喷出口的气体的压力和供给到所述吸引口的真空的压力中的至少一方进行控制，以对处于所述喷嘴的排出口的正下方的所述基板的上浮高度进行可变控制。12、根据权利要求1所述的涂敷装置，其中，所述基板为矩形，所述基板输送部在所述工作台上输送所述基板，使得所述基板的一对边与输送方向平...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻益寿史，池田文彦，篠崎贤哉，大塚庆崇，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]