下载研磨用组合物的技术资料

文档序号:5408324

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本发明的目的在于提供一种不会起泡、能够提高研磨特性的研磨组合物。本发明的研磨组合物的特征在于,其含有pH调节剂、水溶性高分子化合物和包含下述通式(1)表示的具有两个氮的亚烷基二胺结构的化合物,其中,在所述化合物的所述亚烷基二胺结构的两个氮上...
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