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本发明公开了具有减少的渗气的抗反射涂料组合物，该抗反射涂料组合物包含：（ａ）包含一种或多种官能团的聚合物，该官能团能够进行一种或多种选自共价键、离子键和氢键的相互作用；和（ｂ）在加热时离解成组成部分的热酸产生剂，该组成部分能够进行一种或多种...
该专利属于AZ电子材料美国公司所有，仅供学习研究参考，未经过AZ电子材料美国公司授权不得商用。

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