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本发明提供一种缝隙天线方式的微波等离子体处理装置（１００），其具备：构成扁平波导管的平面天线板（３１）及由导电性构件制成的外罩（３４）。外罩（３４）具备用于调整扁平波导管内的电场分布的作为第二波导管的短截线（４３）。短截线（４３）设有由导电...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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