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本发明提供一种声表面波装置，通过形成ＳｉＯ↓［２］膜，能够谋求改善频率温度特性，并且不易产生插入损耗的增大，电极的反射系数能够得到足够的大小，而且能够抑制不希望的上述乱真信号，由此，能够获得更加良好的谐振特性、滤波器特性。在声表面波装置（１...
该专利属于株式会社村田制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

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