温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种带有转子（１８）的涡轮分子泵（１０），所述转子（１８）通过至少一个滚动轴承（１６）安装在外壳（１２）上。所述滚动轴承（１６）具有不旋转的轴承套（２０）和旋转的轴承套（２２）。所述不旋转的轴承套（２０）借助于弹性振动环（１４）安...该专利属于厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种带有转子（１８）的涡轮分子泵（１０），所述转子（１８）通过至少一个滚动轴承（１６）安装在外壳（１２）上。所述滚动轴承（１６）具有不旋转的轴承套（２０）和旋转的轴承套（２２）。所述不旋转的轴承套（２０）借助于弹性振动环（１４）安...