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一种用于产生极紫外辐射的模块（１）包括：供给装置，该供给装置被配置以将点燃材料的液滴供给到预定目标点燃位置上；激光器（６），该激光器被布置以聚焦到该预定目标点燃位置上并通过撞击位于预定目标点燃位置处的这样的液滴（４）来产生等离子体，以便将液...
该专利属于ＡＳＭＬ荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＡＳＭＬ荷兰有限公司授权不得商用。

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