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液流悬浮超精密圆柱体抛光头的配模装置，包括用于消除传动丝杠回程误差的计算机数控模块，所述的计算机数控模块包括位于机床上的Ｘ向步进电机、Ｙ向步进电机和Ｚ向步进电机，所述的Ｚ向步进电机上连接有联轴器，所述的联轴器上连接有传动丝杠，所述的传动丝杠...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

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