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本实用新型涉及一种机械臂机构，尤指一种使用在晶粒分拣机或固晶机中的可以同时驱动两套真空吸嘴装置进行晶粒取放动作，而且可以方便调节对晶粒下压力，并且带有下压力传感器的晶粒分拣双机械臂。本实用新型所述的机械臂由后臂４０１、支撑板４０７、绝缘环４...
该专利属于清华大学;北京中拓机械有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;北京中拓机械有限责任公司授权不得商用。

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