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本发明公开了一种等离子体放电与雾化接枝装置，该装置包括一组雾化喷头和位于雾化喷头两侧的两个高压电极，该组雾化喷头安装在一个与支架连接的屏蔽罩上，用于雾化喷出各种液体；该两个高压电极与电源的一端连接，外侧安装一个与大地连接的屏蔽罩，内侧设有一...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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