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本发明提供减少衬底和掩膜的弯曲，从而能够以高精度蒸镀，此外，能够使搬运室小型化，或者通过将驱动部等配置在大气侧来减少真空内的粉尘和气体的产生，生产率高或者运转率高的有机ＥＬ器件制造装置及其制造方法和成膜装置及成膜方法。本发明的特征在于，以使...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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