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提供一种构造简单的，能够高精度地使掩模图案在基板表面上曝光的曝光装置及曝光方法。具有支撑形成有掩模图案的掩模（４）的掩模支撑部（５）、支撑成为曝光对象的基板（２）的基板支撑部（３）、使所述掩模（４）的下表面和所述基板（２）的上表面之间形成密...
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