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凹陷沟道晶体管装置、包括其的显示设备及其制造方法制造方法及图纸
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下载凹陷沟道晶体管装置、包括其的显示设备及其制造方法的技术资料
文档序号:5145406
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本发明提供了凹陷沟道晶体管装置、包括其的显示设备及其制造方法,即凹陷沟道晶体管(RCT)装置、制造该RCT装置的方法以及包括该RCT装置的显示设备。RCT装置包括:基底,第一沟槽在第一基底中且具有第一宽度;第一栅极绝缘层,在第一沟槽的内壁上...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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