下载带扩张装置的技术资料

文档序号:5082391

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一种带扩张装置,在被粘贴于板状工件上的扩张带具有在被加热后冷却的过程中会收缩的性质的情况下,在通过扩张带的扩张使芯片间隔扩大后,迅速去除扩张带中在板状工件粘贴部分的外周侧产生的松弛。带扩张装置具有:框架保持单元,其保持环状框架(105),该...
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