下载带吹扫处理装置的扩散炉的技术资料

文档序号:5082068

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本实用新型公开了一种带吹扫处理装置的扩散炉,主要应用于扩散炉中;它包括有加热炉和操作室;加热炉带有炉腔,其炉口朝向操作室方向,在加热炉内还设有石英舟;在加热炉与操作室之间还设有排气室,排气室内靠近加热炉炉口处设有一风刀。风刀形成的风面在装载...
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