温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种晶圆清洁室，包含多个载具臂，所述多个载具臂具有在所述载具臂的相对端之间同心安装的中点，所述多个载具臂进一步具有安装在所述载具臂的相对端的每一个上的相应的晶圆载具。中枢，包括多个同心安装的驱动，所述多个驱动中的每一个耦合于所述多个载具臂中...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。